电压输出型线位移传感器动态检定系统
对电压输出型线位移传感器按ZB Y143-83自动检定时,很难同时满足接近测点的方向性及重复定位精度的双重要求。为此研制了动态检定系统,以双纵模双频激光干涉仪提供标准位移,采用微机接口卡高速数据采集处理技术,实现了对量程不超过500 mm的传感器的高效自动检定。系统总不确定度不大于2 μm,测量速度不大于20 mm/s,除被测传感器安装外,全部检测工作完全由微机控制自动完成。

 

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