基于LabVIEW软件的音圈电机驱动系统模型辨识方法
音圈电机是一种广泛应用于IC装备的高精度驱动元件，具有小惯量，高频响，以及收敛快的控制特性。本文采用理论推导和试验辨识相结合的方法研究了音圈电机的控制模型，详细介绍了运用LABVIEW软件对音圈电机系统进行系统辨识的方法，其中包括参数辨识中最小二乘法的基本原理，激励信号施加和响应信号的数据处理以及模型辨识算法的Labview程序编制，并对辨识的模型进行了验证。本文的结果对研究IC封装过程的高精度控制算法有重要的参考价值。
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